半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的***的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。苏州车间特气管道安装供应商

特气管道工程安装注意事项有哪些？现在市面上的特气管道供应商非常的多，但是大多数的气体管道厂商只是提供产品，并不包括安装这一方面。大多数人是不知道正确安装的，下面就会为大家具体的来介绍注意事项有哪些。1、 特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量，当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm，当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm，但全长允许偏差均为100mm。2、管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。苏州车间特气管道安装供应商选择特气管道工程安装公司的标准：秉承“安全至上”的观念。

特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。分类，特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。

特气管道工程安装注意事项有哪些？1、管道支架制作安装采用机械切割，台钻钻孔，严禁气割。支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。所有支吊架安装前必须做除锈、涂刷两遍防锈漆的防腐处理。2、管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。

双层管特种气体管道施工除应符合本标准第 10.6.1条~第 10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1当双层管焊接施工时，应先实施内管的焊接，并在焊接接头处应安装滑套；2 当双层管焊接外管及滑套时，内管和外管都应充高纯氩气保护，宜采用自动轨道氩弧焊机焊接；3 内管焊接完成后应先做压力试验和氦检漏，确认内管无泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 双层管的内管和外管之间应安装弹簧进行隔离，内管和外管不得直接接触；5双套管施工宜采用分段隔绝的方式施工，从气瓶柜到阀门箱的外层套管不得全部相通。在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度。江苏室内特气管道安装定制

特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机。苏州车间特气管道安装供应商

施工管理和现场施工的注意点：（1）项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。（2）特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC***程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。苏州车间特气管道安装供应商

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