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供气管网的布置、设计和尺寸选择对要说空气系统的效率、可靠性和压缩空气的整体能耗都有非常大的影响。比如说,有时候我们必须通过空提高空压机的供气压力以弥补因较大的管道压损造成的终端压力不足,从压缩空气的系统能耗来说,这是非常不经济的设计。此外,当用气需求降低的时候管道系统的压损也会随之降低,从而在终端用气点的压力却不断上升甚至达到用气压力限值。 一般来说压缩空气的***设计要达到从空压机出口到较远端的用气点之间的压损不超过0.1 bar。 这0.1bar的压损包括***间连接管路、管接头和其它管路连接件产生的压损。氢气管道与其它可燃气体管道交叉敷设时,其间距不应小于0.25m。浙江氩气气体管道设计服务

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气体管道连接规范:1、气体管道的连接应采用焊接或法兰连接等形式。氢气管道不得用螺纹连接。高纯气体管道应采用承插焊接。2、气体管道与设备、阀门及其他附件的连接应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调合填料。气体管道设计规范:1、本章规定适用于压力不大于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、煤气、压缩空气和真空等实验室内气体管道设计。2、气体管道设计除应按现行的《城镇燃气设计规范》、《工业企业煤气安全规程》、《氧气站设计规范》、《氢气使用安全技术规程》等的规定执行外,尚应符合本规范的规定。3、氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时,应有换气次数为每小时1~3次的通风措施。杭州隐藏式气体管道设计精选厂家氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.50m。

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这期我们聊聊高纯气体的管路设计在实际应用上,应注意哪些要点?GP在管道设计上是如何实施?高纯气体管路设计要点:01气体特性,了解气体特性,规划单独的供应区域。一般根据气体特性分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体于毒性/腐蚀性气体放置同一区域。02输送距离,管路设计需要考虑输送至用气点的距离,距离越长,成本越高,风险越高。通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。

对于低蒸汽压气体(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考虑钢瓶加热,气体面板加热,管道伴热等。为了***控制流量,在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计,压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体,应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计,即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点,要点对点,中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此,整个管路系统中由VMB完成气体的分配,中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。所有管道应清晰标识,包括气体名称、流向标记和安全警示。

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高纯气体管路设计要点:01输送系统“分等级”,对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”,为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度,在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。对于特殊气体,如高纯气体,管道内部应保持高度清洁,防止污染。杭州隐藏式气体管道设计精选厂家

氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。浙江氩气气体管道设计服务

进行检测和调试。在气体管道施工完成后,需要进行管道的检测和调试工作。首先,进行的气体泄漏检测,确保管道的密封性。其次,进行的气体流量的测试,确保气体输送的稳定性和准确性。通过检测和调试,可以发现并解决潜在的问题,确保管道的正常运行。然后,进行验收和维护。当实验室气体管道设计与施工完成后,需要进行验收工作。验收包括对管道的安全性、可靠性以及使用效果的检查。只有通过验收,实验室能够正式投入使用。同时,为了***管道的正常运行和使用寿命,还需要进行定期的维护和保养工作,包括清洗、润滑等。浙江氩气气体管道设计服务

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