高纯/特种气体的概念，半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。气力输送设计的计算方法：1、确定各工作参数。气力输送的主要工作参数包括输送量、混合比(输送浓度)和气流速度等，这些参数的正确确定，对气力输送系统的选择和运行的经济性有很大的影响。2、确定各主要部件的型式和结构尺寸，如选用吸送式气力输送型式，则要注意吸嘴的选型，绘制出系统示意图。3、计算出系统各部分的压力损失及管道总压力损失。4、根据风网总风量和总压力损失选择合适的风机，并计算风机所需功率配用电机。气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全要求。江苏不锈钢气体管道设计安装

供气管网的布置、设计和尺寸选择对要说空气系统的效率、可靠性和压缩空气的整体能耗都有非常大的影响。比如说，有时候我们必须通过空提高空压机的供气压力以弥补因较大的管道压损造成的终端压力不足，从压缩空气的系统能耗来说，这是非常不经济的设计。此外，当用气需求降低的时候管道系统的压损也会随之降低，从而在终端用气点的压力却不断上升甚至达到用气压力限值。 一般来说压缩空气的***设计要达到从空压机出口到较远端的用气点之间的压损不超过0.1 bar。 这0.1bar的压损包括***间连接管路、管接头和其它管路连接件产生的压损。江苏不锈钢气体管道设计安装实验室供气系统是确保实验室安全运行的关键组成部分。

高纯气体的供气安全，各种特性气体的使用安全，易燃易爆气体：此类气体只要形成了可燃气体爆裂混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆裂事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：①可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。②可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的较低处。③可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。

当供气系统有若干台压缩机组成的时候，储气罐的大小需要基于排量较大的压缩机排量进行选型。这些管路辅件的尺寸选择对整个***压损有非常大的影响，因为通常系统压损大正是因为辅件选型不当而导致的。下面这个公式可以用于计算供气管网系统在***允许压损时管路较长尺寸：管网系统总体管路长度 (m); ?p = 管网系统***允许的压损 (bar); p = 进气压力（绝压 (bar(a)); qc = 空压机自由排气流量 (l/s); d = 管网管道直径 (mm)供气管网较好采用围绕终端用气点的闭式环形管网设计，然后通过供气支管从环形主管道送往各个用气点。这样的设计实现了单一供气的目的，同时避免了严重的间歇性用气问题，因为气源可以同时从两个方向向用气点供气。除了较大用气点位于离空压机较远的情况，所有供气系统都应该采用此设计。当上述情况出现时，应该用单独的供气管道向较远端的较大用气点供气。采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器。

外购气体钢瓶供气，外购气体钢瓶集中存放在工厂的气瓶间(库)中，气瓶中高压气体经气体总线，减压阀组汇集，减压至一定压力经气体纯化装置纯化后供气。为确保连续供气，气体钢瓶一般分为两组，交替放气，根据产品工艺要求，选择满足供气品质的气体纯化装置或在用气点处设置末端气体纯化装置。1－钢瓶及总线2－减压阀组；3－调压装置；4－气体纯化装置； 5－末 气 体 纯 化 器；6－气 体 过 滤 器；7－用 气 点，其他：实验室气体管路系统规范，实验室集中供气工程要求。系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验，对整个系统进行检测。江苏不锈钢气体管道设计安装

对于特殊气体，如高纯气体，管道内部应保持高度清洁，防止污染。江苏不锈钢气体管道设计安装

气体管道设计规范：1.气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.*** 的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。2.管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳胶管。3.阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其他气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材抖。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品，不得代用。4.气体管道中的法兰垫片其材质应依管内输送的介质确定。5.各种气体管道应设置明显标志。江苏不锈钢气体管道设计安装