实验室气体采用集中供气方式，由实验室外专门使用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，***不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管（BA级）路输送，一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方，沿墙进行明设。所有管路标明连接的气体。气体管路每隔1.5米的距离，都要有明确标示，同时指示气体的流向。气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。浙江气体管道设计施工规范

压缩空气管网设计当设计与确定压缩空气网络时，首先需要有管网及用气系统的设备列表，所有用气设备，和一张标明了各用气点位置的布局图。用气点可以按照一定的逻辑进行分类编组并由同一供气支管供气。当然一个供气主管路为每个供气支管供气。一个完整的压缩空气管网有四个主要部分：供气主管供气支管设备连接管管道配件供气主管把压缩空气从压缩机房输送到用气区域领域。供气支管是将主管内的空气引到用气区域，设备连接管将支管与用气设备连接起来。浙江气体管道设计施工规范氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。

助燃气体：窒息性气体，此类气体无色、无臭、低毒性，但是大量窒息性气体的泄漏或排入大气中会使空气中氧的浓度降低，当空气中的氧浓度低于18％时，人会感觉到头晕恶心，甚至会造成窒息死亡。所以一定要严防气体的泄漏。在使用场所设置必要的换气，及时将窒息性气体排至室外。有毒气体，在使用、贮存有毒气体的场所应设有可靠的通风装置。和毒气泄漏报警装置一旦空气中有毒气体达到规定值时，应进行报警，同时自动开启自动排气装置，有毒气体在排入大气前必须经过可靠的处理，达到规定的无害状态后方可排放。此类气体一遇水就会显示强腐蚀性，因此在腐蚀性气体系统使用前应以干燥氮气等对系统设备、管道进行吹扫、干燥，尤其时高压储气瓶的灌装口，因环境空气中的水分易引起腐蚀必须装设气瓶帽，并在装气瓶帽时使用氮气对灌装口进行充分的干燥。

中心供氧系统：1医院中心供氧系统由中心供氧站、管道、阀门及终端送氧插头等组成。氧气气源集中在中心供氧站，气源氧气通过减压装置和管道输送得手术室、抢救室、医治室和各个病房的终端处，供医疗使用。2中心供氧站，中心供氧站供氧方式有：氧气瓶组供氧、液氧供氧和液氧与气瓶组联合供氧及制氧机供氧。氧气瓶组供氧由高压氧气瓶、汇流排、减压装置、管道及报警装置组成。氧气瓶组供氧汇流排，必须设两组（或多组）交替供氧，采用自动或手动切换。氧气瓶可由散装或箱式瓶组供给。采用汇流排气瓶组时气瓶总数不得超过20瓶。瓶装汇流排间地坪应与运输工具高度相适应，一般宜高出室外地坪600mm以上。箱式瓶组应有防止发生火花的轨导吊车。高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、试验检测合格。

高纯/特种气体的概念，半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。气力输送设计的计算方法：1、确定各工作参数。气力输送的主要工作参数包括输送量、混合比(输送浓度)和气流速度等，这些参数的正确确定，对气力输送系统的选择和运行的经济性有很大的影响。2、确定各主要部件的型式和结构尺寸，如选用吸送式气力输送型式，则要注意吸嘴的选型，绘制出系统示意图。3、计算出系统各部分的压力损失及管道总压力损失。4、根据风网总风量和总压力损失选择合适的风机，并计算风机所需功率配用电机。采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。江苏高纯气体管道设计

氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它管道上。浙江气体管道设计施工规范

气瓶间布局，1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。2.气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。4.所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设计的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。7.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。浙江气体管道设计施工规范