工艺原理 采用水平15°倾斜摆放姿势进行加工，顺管内介质流向高纯氮气（99.99***）进行吹扫，不锈钢弹簧填充双层管夹层后用专门使用弯管装置进行弯管加工，双层管道内外充纯氩（99.99***）保护的全自动轨道氩弧焊连接和柔性金属垫片端面密封连接，结合氦气检漏的工艺原理，***内外层管道洁净度、密闭性、弯管质量以及管道焊接安装质量。3 加工安装操作要点， 洁净区域管制 现场设置三段预制加工洁净区域，建立临时洁净室，要求净化等级不低于9级，确保管件加工的洁净度，进入洁净室的人员必须穿戴洁服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。江苏隐藏式特气管道安装设计

特种气体管道的施工 ，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC***程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。*后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收。预制间的选择，特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。上海不锈钢特气管道安装定制应按设计要求或***图集中对管道固定支架的型式进行选择。

特气管道工程安装的注意事项：1、特气管道安装时，根据不同的管径和要求设置管卡或吊架，要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。2、管道支架的制作安装要采用机械切割和台钻钻孔，严禁气割。3、所有支吊架安装前必须做除锈，做涂刷两遍防锈漆的防腐处理；支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。4、特气管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，若设计无要求时，按照规范要求设置。7、管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm；冬季施工预留：15-20m。8、管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。

施工管理和现场施工的注意点： （1）焊工每天在焊接前必须先作焊接试样，经检查合格后方可进行焊接施工，每天的施工结束后还必须做一个末试样，以确认这里的焊接作业是否存在焊接隐患。每次电源变更的时候，都必须重新作试样。焊接试样要附上焊接参数。每天的焊接试样要妥善保存。(焊缝质量的检查主要有焊缝的宽笮度、焊缝的内外均匀度、焊缝的凹凸度、是否氧化、其他不允许的缺陷)，（2）架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。但对要求不是很高的施工，为了降低成本，每天的焊接结束后，把两端用管帽和洁净胶带封死。在这里要特别提出的是对输送强腐蚀性气体的耐腐蚀性强的VM管进行对接施焊时，其充气时间必须要达到4-5分钟，而且必须不间断充气。特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式。

系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。气体房和气柜还须有自动喷淋系统，但有的气体如三氟化氯,硅烷遇水反应，这时就还需要考虑采用二氧化碳灭火系统。选择特气管道工程安装公司的标准：十几年行业经验，技术的积累。江苏隐藏式特气管道安装设计

整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。江苏隐藏式特气管道安装设计

特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。分类，特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。江苏隐藏式特气管道安装设计